1、更高速、高精度的检查

更高速3D检查  56.8cm2/s

更高精度3D检查  8方向投影装置

4方向斜视图像检查    2000万像素的4方向斜视相机

设备检查   高水准分辨率5μm/同轴照明

2、支持半导体领域的检查

3、强化基板传送能力

4、有效利用AI的新软件解决方案