YSi-SP | ||
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对象基板尺寸 | L510mm×W460mm ~ L50mm×W50mm(单轨机型) ※无双轨机型 | |
水平分辨率(FOV尺寸) | 1)25μm / 12.5μm(约50×50mm) 2)20μm / 10μm(约40×40mm) 3)15μm / 7.5μm(约30×30mm) ※均为标准选择式 | |
高度分辨率 | 1µm | |
检查项目 | 锡膏印刷状态(体积、高度、面积、位置偏移) | |
电源规格 | 单相 AC 200/208/220/230/240V ±10% 50/60Hz | |
供给气源 | 无需空气 | |
外形尺寸(突起部除外) | L904×W1,080×H1,478mm | |
主体重量 | 约550kg |